二手 TEL / TELIUS Immersion #9267456 待售

TEL/TELIUS Immersion是一種以光的深度穿透為特征的光阻系統，允許在高密度光刻中更精確的分辨率。它用於集成電路和微電子元件的微加工。TEL Immersion利用光敏材料，它是一種聚合物膜，對特定波長的光敏感。施加到光致抗蝕劑上的光會導致其屬性發生變化,從而允許將所需的圖樣蝕刻到基材中。通過將光致抗蝕劑浸入流體中，更多的光能夠穿透光致抗蝕劑，增加了景深和分辨率。TELIUS Immersion相比傳統的光刻有幾個優點。它由於增加了景深而效率更高，能夠產生精度更高、精度更高的圖像。它也極具成本效益，因為它不需要額外的化學品或昂貴的設備，因此非常適合大規模制造過程。此外，它較短的工藝時間允許更快地生產集成電路和其他微電子元件。浸入過程開始於將一層光致抗蝕劑沈積在底物上，該底物先前已被清洗和處理過。在曝光步驟中，它被光源（如激光）照射，在需要的地方將光刻膠曝光。光致抗蝕劑的穿透區域經歷了其性質的變化，允許在隨後的蝕刻步驟中進行抗蝕劑去除。這會導致圖樣或設計蝕刻到基板上。最後，光致抗蝕劑被移除。經檢驗，底物可進一步加工或原樣使用。TEL/TELIUS Inmersion提供了高分辨率和準確性、快速和經濟高效的生產以及最少的材料浪費等優點。