二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293610279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是為臨界光刻工藝而設計的光刻設備。該系統具有高級性能級別的功能和組件,使用戶能夠生成高精度、高質量的打印圖樣。該單元由精確對準階段、自動定位軟件和實時曝光控制模塊組成。機器的雙板級可以傾斜、旋轉、調節Z軸。對準級配備了一套精密編碼器和閉環對準系統，用於精確測量曝光場的大小和位置。自動定位軟件允許將整個工具配置為復雜的曝光模式。資產還具有多區域曝光模式，可用於精確控制多個曝光區域。此模式可用於創建比傳統單一曝光技術分辨率更高的復雜曝光模式。此外，多區模式可用於通過將模式分成多個曝光區域來減少特定曝光模式所需的曝光時間。該型號還配備了實時曝光控制模塊，用於監控曝光場，確保曝光參數保持在可接受的範圍內。設備的光學單元利用基於LED的輻照系統，可以提供高強度的曝光。這個裝置能夠產生比大多數傳統曝光系統高兩百倍的曝光水平。該機器還包括用於曝光控制和數據分析的精選軟件工具。這些工具使用戶能夠微調曝光條件,並在實際曝光前監控曝光字段中的潛在問題。TEL ACT 12是一種先進的光刻工具，適用於那些要求其印刷圖樣具有高精度和精確度的人。資產的多種組件和精密設計使其成為高端光刻操作的可行選項。