二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293630206 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種用於多種半導體制造應用的光敏設備。該系統能夠處理各種關鍵的光刻步驟，使工程師能夠實現小至10納米的高分辨率特征。它具有可編程的多電源,在叠加和模式傳輸方面具有高度的靈活性。創建TEL ACT 12的單元架構是為了最大限度地利用現有設備，包括其光刻臺、光學元件和陣列功能。其用戶友好的軟件界面使工程師更容易以前所未有的精度創建復雜的電子模式,包括反向探測以提高準確性。TOKYO ELECTRON ACT12還具有一個可靠和健壯的運動控制機器，它具有高速度和高精度的性能。其雙光束掃描儀可實現精密的多層成像，具有檢振掃描和電動θ-z級，提供了廣泛的調整範圍，以幫助優化圖樣的設計。其集成的控制組件提供自動化、無憂的操作和精確的精度。此工具旨在縮短曝光周期時間並提高吞吐量。此外,該資產還提供強大的對齊和優化功能,以及卓越的缺陷檢測功能,並增強了光阻處理的可靠性。TOKYO ELECTRON ACT 12的設計旨在為客戶提供卓越的性能和可靠性。這一模式將在半導體和電子行業取得巨大成功，提供無與倫比的暴露均勻性和穩定、可重復的暴露劑量控制。用戶可以期待快速的投資回報和更高的生產率。此外，這種設備是為了確保更高的產量、更好的步長覆蓋和一致的晶片對晶片性能而建造的。