二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9042727 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種用於半導體製造的光刻膠設備。它由三個主要組成部分組成：一個浸入式腔室、一個高溫烘烤系統和一個自動對準器。該單元非常適合管理多種光刻膠過程，包括旋轉塗層、烘烤、預烤和開發過程。TEL ACT 12內的腔室是氣動操作、閉環、浸沒式的。具有耐壓性能，為光刻膠的加工提供了安全的環境。此外,循環噴嘴還保證了光敏溶液的均勻分布.這消除了機械攪拌的需要。高溫烘焙機提供晶圓的均勻加熱。它由一個單一的加熱器提供動力，並使用一個由可編程集群控制的單級熱區烘烤。其溫度設置非常適合光刻膠的多級溫度烘烤。自動對齊器可以快速測量光掩模並將其對齊到正確的位置。它配備了由精密電動機驅動的自動對準器。所采用的廣義視野將誤差和錯位降至最低。此外,還使用自動晶圓位置控制來確保正確對準。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT12適用於光致抗蝕劑的應用過程。其耐壓腔室可實現安全、低壓處理。此外，其高溫烘烤工具可以提供多級溫度烘烤。最後,它的自動對齊器可實現快速、準確的掩碼與晶片對齊。這些組件共同使這種光刻膠資產成為敏感半導體制造工藝的理想選擇。