二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9088377 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種使用紫外線（UV）曝光光刻膠材料來製造圖案的光刻膠設備。然後可以將這種模式蝕刻到基板上，如矽片，以創建集成電路元件和器件。TEL ACT 12是一個「5合1」系統，意味著它將五個不同的組成部分容納成一個單元。這包括：掃描儀、接收器、紫外線燈、控制器和接觸曝光單元（CEU）。掃描儀是一種以重復模式在光敏材料上移動的裝置，使分子暴露在紫外線下。受體是一種冷凝裝置，可將抗蝕劑冷卻至紫外線照射的最佳溫度。CEU是一個在氣密環境中容納抗蝕劑和光源的腔室，有助於保持暴露穩定性，從而產生均勻的結果。紫外線源是一種發射紫外線光譜的大功率燈，特別是在300-400 nm波長範圍內。這種類型的光是光致抗蝕劑暴露所必需的，因為它作為催化劑在分子中引發化學反應。控制器運行整個設備,並確保滿足曝光的所有參數。TOKYO ELECTRON ACT12能夠對光刻膠進行精細的曝光.這種精度導致了復雜的模式，可以在矽晶片上復制各種元件，如晶體管和電容器。它還具有將薄至0.5µm的薄膜曝光的能力，這是使生產具有成本效益和提高產量所必需的。此外，ACT 12還具有很高的可靠性和成本效益。更重要的是，它用戶友好且高效，非常適合生產微芯片和集成電路。總之，ACT12機器是生產微芯片和其他集成組件的強大工具。它具有多功能性和精確的結果,因此成為這些應用程序的首選。