二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9102945 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，用於在生產集成電路和其他電子元件時對半導體和薄膜材料進行蝕刻和制圖。該系統允許對所需形狀的薄膜材料進行精確和精確的圖樣處理。它被設計為在光刻過程中提供優異的性能，並且能夠產生高分辨率的圖樣和最小的基板損傷。TEL ACT 12單元由幾個組件組成，包括光源、鏡頭、光圈和掃描儀。光源是一種多波長的紫外線光源，產生均勻的光束，用於均勻暴露基板。該鏡頭的設計提供了一個更大的視野和提高分辨率的清潔模式執行。光圈是用來塑造光源的均勻和精確的圖案。該掃描儀還設計為提供一個大面積的掃描字段，以便快速和精確的圖樣。TOKYO ELECTRON ACT12機的基本蝕刻過程遵循順序模式。首先，光致抗蝕劑旋轉到基材上。為了獲得所需的蝕刻圖樣，這一過程需要得到良好的控制。這是通過在施加光致抗蝕劑之前調整其粘度、自旋速度和溫度來完成的。其次，基板暴露在紫外線光源下。光束由透鏡和光圈聚焦成形，以達到精確的圖案。第三，光致抗蝕劑的開發和圖案在基板上所需的形狀。最後,蝕刻基板以創建所需的圖樣。ACT 12工具是可靠高效的工業光刻工具。其精密制圖能力為高效生產半導體和薄膜元件提供了最高質量標準。此外，它的大掃描場和多波長光源使得它成為一個理想的工具，用於各種材料的蝕刻和圖案。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 12資產是電子工業中集成電路和其他元件的蝕刻和制圖的有效光刻模型。