二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112100 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光刻用的光刻設備,用途廣泛且可靠。該系統為用戶提供了納米範圍內的出色分辨率和穩定性。TEL ACT 12具有可調節的掃描速度和鏡頭到鏡頭的可重復性精度,能夠在晶圓和其他基材上產生最優質的表面蝕刻和圖案。該單元包括高質量的光學器件、快門鎖系統和鏡頭元件,以減少耀斑和失真並提高焦點分辨率。光學器件提供穩定和均勻的照明基板,從而產生精確的光刻。此外,這臺機器的設計允許用戶精確控制底物上的暴露模式和劑量。TOKYO ELECTRON ACT12還具有快速可靠的晶片裝卸集成機制。這允許多鏡頭光刻和更高的吞吐量。先進的成像工具還允許選擇不同的曝光面罩,以實現更高的模式保真度。這樣就可以產生更高的精度和特征大小而不會失真。此外,該資產還包括精確的舞臺和驅動器系統,以及易於導航的圖形用戶界面。該級確保沿X、Y和Z軸的運動一致且準確,並且驅動器能夠精確控制曝光時間和輸出功率。圖形用戶界面使用戶能夠輕松選擇所需的設置並自定義每個進程。TEL ACT12旨在減少正確制作表面蝕刻和圖案所需的時間和工作量。其出色的光學、快門鎖模型和鏡頭元件為用戶提供了獲得更高產量的精密圖樣的能力。此外,集成的晶片裝卸機構允許更快、更可靠的多鏡頭光刻。憑借先進的成像設備以及舞臺和驅動系統,ACT 12為用戶提供了高效、可靠和精確的光刻系統。
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