二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112903 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種用於半導體製造的光刻膠設備。光致抗蝕劑系統用於在半導體晶片上施加光敏塗層。使用這種系統的目標是在晶片上創建模式來控制其電氣和其他特性。TEL ACT 12是專為先進半導體制造而設計的優化光刻膠系統。它是一種高級工具，具有內置投影儀、雙焦點和籃子式卸載/裝載站。根據客戶的要求,可以對設備進行編程,以提供具有低於0.35 µm的子分辨率特征的圖案化層。TOKYO ELECTRON ACT12配備了雙級12英寸外盒，確保晶片在加工過程中牢固地固定。投影曝光機在廣闊的曝光區域內提供高度精確的圖像。投影儀配有激光幹涉儀和自動對準工具，可確保精確投影。基於數學算法優化的雙焦點點也有助於提高投影圖像的準確性。此外，資產還具有集成冗余模型。這樣可以確保在發生設備故障時,它安全地發生故障,並且不會損壞晶片。該系統還包括一個低振動的頂級輸送機單元，在加工過程中最大限度地減少振動，減少對晶片的傷害。最後，ACT 12設計了一個用戶友好的圖形界面。這是為了使機器設置和模式創建更容易和更快。該工具還配備了嵌入式監控模塊，可連續監控資產性能，並提供任何異常的詳細反饋。總的來說，TOKYO ELECTRON ACT 12是一個強大的光刻膠模型，專門設計用於先進的半導體制造。該單元結合了自動對準、雙焦點和設備冗余系統等功能,為在半導體晶片上創建復雜模式提供了高精度和可靠性。