二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9114986 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款由TEL(TOKYO ELECTRON Ltd)生產的光刻膠設備。它是為微電子裝置(MEMs)的制造過程而設計的,使得能夠生產設備制造所需的高分辨率圖樣。該系統以ACT平臺為基礎,該平臺提供了前所未有的性能,可對各種光刻材料進行制圖,並產生出色的光刻效果和快速的周轉時間。該設備配備了一系列旨在簡化設備制造的功能。其兩步光刻工藝,包括曝光前烘烤和曝光後烘烤,允許高通量。它還具有高達兩倍的成像速度,傳統的幹蝕刻系統,並支持各種光敏化學和遮罩材料。TEL ACT 12高精度,具有亞微米精度,使最詳細的模式曝光。它還具有雙向成像能力,並結合了一個串聯特性,允許在一個過程中傳遞正負光刻膠層。該機器具有足夠的靈活性,能夠滿足從微芯片制造和MEM設備制造到生物技術和醫療設備制造等多種行業的需求。該工具在一系列基材上表現最佳,包括矽、砷化氙、多晶、有機和金屬氧化物,使其成為應用於多個行業的通用解決方案。資產帶有直觀的用戶界面,便於導航和操作。它有一個強大的配方數據庫,用戶可以在其中訪問不同光刻材料和基材的不同工藝和參數。該車型在設計時考慮到了高度的安全性,具備可靠的集煙設備和幾個安全特性,確保了系統的安全準確運行。它也易於維護,但由於服務或維護,停機時間最短。總之,TOKYO ELECTRON ACT12是一種專為微電子器件制造而設計的光阻裝置,具有前所未有的性能和準確性。它具有高精度和靈活性,具有直觀的用戶界面、可調的處理速度以及一系列安全功能,以確保其安全運行。此外,該機器易於維護,並且由於維修或維修而導致的停機時間最短。
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