二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9187391 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是TEL在半導體工業中開發的光刻和蝕刻光刻設備。它是一種先進的離子輔助電子束（IAEB）光刻系統，旨在為不到10納米的超微小電路結構提供高精度的圖樣性能和蝕刻。該裝置在若幹領域具有突破性的創新，包括高度敏感的第7代法拉第偏轉器、改進的光束映射和控制，以進行精細聚焦調節和可靠的高分辨率成像，以及先進的雙光束光學元件，以便在光刻和蝕刻過程之間進行無縫的即時切換。這種組合使得高質量的圖樣甚至可以解決3維電路結構。TEL ACT 12還具有先進的計量系統，以確保整個晶圓的過程均勻性。這包括通過高分辨率映射來確定晶圓上的抗蝕劑輪廓，以及對工藝效果的高精度評估。此外，該機還提供了不同階段的抗蝕劑性能的物理缺陷自動檢測和實時檢測。高分辨率成像和先進的計量系統使TOKYO ELECTRON ACT12能夠提供高水平的缺陷管理準確性和可用性。這包括減少工藝的前端和後端階段的缺陷,以及整個晶圓的層厚度和線寬的一致性。此外，該工具還配備了一系列工具，用於優化和控制曝光和劑量、束電流、偏轉和軌跡，以及補償線緣粗糙度和短褲和開口等因素。它還提高了可靠性,減少了停機時間,並提高了尖端並行處理能力,從而提高了吞吐量。總之，TEL ACT12是光刻資產開發的突破性創新，為半導體行業最高性能的光刻和蝕刻工藝提供了理想的平臺。其尖端特點、操作簡便、精度高，使其成為強大的車型選擇。