二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9187393 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款設計用於半導體制造工藝的高性能光刻膠設備。它利用激光誘導的蝕刻圖樣暴露在晶圓基板上,用於生產電子半導體器件。該系統配備了一個先進的成像單元,可以創建高度精確的圖樣,曝光能力為0.1 μ m或更高。該機器基於一個獲得專利的激光源,一個10 W的光學激光頭,使曝光能夠快速準確地進行。激光源是一種高能、波長穩定的激光工具,在很短的時間內產生高精度、無瑕疵分辨率的字符、線條和幾何形狀。TEL ACT 12還有一個12英寸的光掩模,允許更大範圍的光刻膠選項和曝光。它配備了一個七英寸的方形遮罩圖案,用來將電路寫入晶圓。成像資產采用獨特的「模板驅動」技術,無需人工幹預即可快速制作高度復雜的形狀和圖案。該型號具有可調節的掩模強度,因此可以精確控制蝕刻,而無需任何額外的光源。除了先進的成像設備和激光源,該系統還結合了自動化的過程控制,可以編程產生高產量的可靠電路。晶圓對準準確,分辨率精度保持一致。該單元還包括一個晶片清洗站和一個平板顯示器,用於控制和監測成像過程。TOKYO ELECTRON ACT12是一種先進的半導體制造機,設計用於在短時間內產生高精度和可靠的電路。它的高性能、高精度成像工具允許在晶片基板上對圖樣進行一致和可靠的蝕刻,為制造復雜、高性能的電子半導體器件提供了絕佳的選擇。
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