二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9216584 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是由TEL Ltd開發的高性能光刻膠設備。它使用深紫外線進行光刻曝光，然後由系統的光學對準和組裝處理。這樣,通過更高的分辨率成像和工藝一致性,尤其是與頂級曝光單元結合使用時,曝光時間會更快。光致抗蝕劑單元利用多層光阻材料，通過有選擇地吸收和噴射層中的光，形成所需的圖樣。在TEL ACT 12中，液膜形成的光致抗蝕劑充當多級抗蝕劑堆棧的第一層。然後將這層薄膜暴露在光線下，以光刻光刻劑內的分子聚合物鏈。這種曝光過程保留了所需的圖案，同時掩蓋了膠片中那些沒有暴露在光線下的元素。一旦曝光，光刻膠層與二次曝光材料發生化學反應。曝光材料，通常是電子束，充當蝕刻劑，進一步細化光刻膠層中的圖樣。此過程允許更精細的分辨率成像、改進的蝕刻控制以及對蝕刻深度的更高程度的控制。此外，電子束可以同時精確、快速地蝕刻多層光刻膠。最後，利用顯影劑化學方法進行後沖洗，完成了光刻膠層的開發過程。這種沖洗可以去除光致抗蝕劑層中任何剩余的未暴露區域。這種後顯影過程有效地在光刻膠層中只留下所需的圖案。除了其更高的分辨率外，TOKYO ELECTRON ACT 12的曝光和蝕刻工藝提供了更廣泛的曝光範圍和更高的曝光精度。總之，TEL ACT12是由TOKYO ELECTRON Ltd開發的一種高性能光致抗蝕器。它具有更高的分辨率成像和過程均勻性,能夠更快地曝光時間。該工具結合深層紫外線、電子束曝光和後顯影顯影劑化學，利用多級抗蝕堆，在光敏層中精確、快速地制作和開發出所需的圖樣。此外，這種光刻膠資產提供了更大的曝光範圍和更高的曝光精度。