二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9224985 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種專為半導體工業而設計的光阻設備。它是用於創建半導體電路的高度專業化的工具。這個系統特別利用了一種叫做「正」的光刻膠，通過改變其分子結構來響應紫外線或可見光的圖樣。改變後的分子在圖案化的表面上形成一層極薄的保護膜。TEL ACT 12單元由三個主要組成部分組成。首先，使用專用的蒙版對齊器來曝光光刻膠。該裝置配有高精度光學器件，允許光掩模與基板精確對準。第二個組成部分是一個面罩照明機，由一個產生紫外線或可見光光束的氙氣或K燈組成。根據應用程序的不同，照明工具可以配置為傳遞寬或窄輻射光譜。最後，資產包含一個開發室，該室容納用於在基板上蝕刻暴露電路圖樣的工藝化學品。TOKYO ELECTRON ACT12模型擅長在廣泛的應用中產生極其精確的圖樣。為了達到這一精度水平，設備配備了可編程變焦對焦、機械背面對準、內置過程監控能力等先進功能。此外,TEL還發布了一個「自動調諧」版本的ACT12系統,它允許用戶根據所使用的圖樣和基板快速調諧某些參數,如掩模對齊器、照明單元和開發室設置。總之，TOKYO ELECTRON ACT 12是一種先進、可靠的半導體器件和電路中產生精細模式的機器。它具有先進的特性，能夠精確對準和曝光光刻膠，並且能夠產生極其精確的圖案。此外，TOKYO ELECTRON Auto-Tune功能使工具極富通用性，讓使用者可以快速輕鬆地為不同的應用設定資產。