二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235798 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是為了在半導體晶圓上形成微細和超細細節圖樣而設計的光阻設備。它基於光化學原理，利用光通過化學反應將某種化合物轉化為不同形式。TEL ACT 12的核心是一個電子槍光學曝光系統，用於精確控制光化學驅動反應中使用的光量。該曝光單元利用半導體晶圓與電子束結合，以及包含必要圖樣的光掩模，以便將圖樣轉移到晶圓上。電子束以陣列方式穿過晶圓，可以設置為發送不同強度水平。百葉窗位於晶片的前面，以允許不同強度的水平通過。除了電子槍光學曝光機外，TOKYO ELECTRON ACT12還有一個晶圓穩定工具，用於確保晶圓在成膜過程中保持穩定。該資產利用位於晶圓前面的膜傳遞級，以便在曝光過程中支撐它，從而實現精確的厚度控制。它還包含一個溫度控制模型，該模型調節晶圓溫度，以確保均勻的薄膜形成。整體設備吞吐量高，能夠在包括、4"、6"、12"在內的各種尺寸的晶片上形成模式。此外，TEL ACT12提供了支持多種抗蝕膜的靈活性，包括正負光抗蝕劑，以及SU-8和SU-8XL抗蝕劑，此外，曝光系統能夠形成復雜的細節，包括10微米的線條和空間，並且可以達到高達150 nm的分辨率。該單元還針對低顆粒生成進行了優化，非常適合在潔凈室環境中使用。TOKYO ELECTRON ACT 12是一款高度先進和高效的光刻機，為用戶提供了在半導體晶圓上創造高度精確和復雜細節所需的靈活性和準確性。它具有很高的吞吐量，也是用戶友好的，使其成為任何光刻膠應用的理想選擇。