二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235799 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光刻設備，常用於微加工過程，如光刻。它使用了一種液態的光致抗蝕劑，施加在基板上，然後暴露在紫外線光源下。紫外線會使光致抗蝕劑發生化學反應，使其在暴露於光線下的區域硬化，使未暴露的區域變得更柔軟。這種通過選擇性硬化和軟化光致抗蝕劑創建圖樣化表面的過程被稱為「成像」。TEL ACT 12是一種高度先進的系統，使用先進的自旋塗層/噴塗方法，均勻地應用光刻膠。該單元包括一個主處理器、一個晶片加熱器和一個帶有旋轉塗層/噴頭的多旋轉器機器。主處理器在旋轉塗層/噴塗過程中控制刀具的溫度和濕度。使用TOKYO ELECTRON ACT 12的曝光盒完成影像成形。這個盒子裏既有可投射的也有無遮罩的曝光資產，使用氮氣凈化的光學器件來降低來自燈的熱量引起的任何蒸氣壓。圖像成形過程進一步得到ACT 12的反射板模型的輔助，該模型在曝光盒和基板之間反射光線，以確保曝光的基板的均勻曝光。成像完成後，TOKYO ELECTRON ACT 12具有在潔凈室環境中發展基板的能力。這是使用專門的噴霧器完成的，該噴霧器可以有效地應用顯影劑並去除未曝光的光刻膠。TEL ACT 12的開發者設備也有能力快速準確地檢測晶圓上存在的任何缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12系統是光刻工藝的高效可靠單元。其先進的自旋塗層和噴塗技術確保光刻膠均勻地塗在基板上，其可投射和無掩模的曝光機確保基板的均勻曝光。此外，它的顯影劑工具能夠快速準確地檢測基板上存在的任何缺陷。