二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235800 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，設計用於在基板表面創建先進的圖樣和結構。光致抗蝕劑是一種對輻射反應或變化的材料，通常是光或紫外線（UV）光，可用於在表面上創建圖樣或結構。TEL ACT 12旨在讓使用者準確控制在基板表面所建立的模式和結構。TOKYO ELECTRON ACT12被設計為一個曝光系統，並有一個掃描曝光方法，以便用戶能夠準確控制使用光刻膠所創造的模式和結構。它有兩個電子槍，一個用於光致抗蝕劑，另一個用於背面。該槍可用於精確調整用於暴露光刻膠的輻射劑量。光刻膠的曝光時間也可以調整，以確保使用正確的劑量。TEL ACT12除了控制輻射暴露的精確度外，還具有較高的吞吐量能力。單元上的電子槍可以在不到18秒的時間內掃描多達40毫米（1.6in）的基板。這意味著大面積的基板可以在短時間內覆蓋，而不犧牲過程的準確性。ACT 12也有幾個安全特性。有泄漏監視器可以檢測任何泄漏的輻射，還有一個緊急快門可以在機器發生故障時保護基板，並開始發出高水平的輻射。該工具還旨在最大限度地減少過程產生的廢物量。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光致抗蝕劑資產，設計用於精確控制輻射暴露於基板表面。憑借其兩把電子槍、高通量能力和安全特性，該型號非常適合各種基材和圖樣應用。它是當今市場上最精確可靠的光刻膠系統之一。