二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239543 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是由TEL Limited（TOKYO ELECTRON）開發，用於半導體工業的光阻設備。該系統旨在在半導體晶片上處理光敏塗層時提供準確、均勻和可重復的結果。TEL ACT 12單元設計有一個自動清潔臂，在光刻塗層之前清除晶片的任何汙染。然後將晶片放置在機器中，在機器中將精確量的光致抗蝕劑分層施用，厚度最大為12微米。光致抗蝕劑的分層是通過使用基於激光的幹涉級實現的，該級可確保精確的厚度控制和塗層的均勻性。自動清洗臂還可確保在烘烤後的過程中從晶片中除去任何多余的光刻膠。在高溫（高達500攝氏度）下進行後烘烤,以確保光刻膠塗層已完全固化並準備好進行加工。TOKYO ELECTRON ACT12工具配備了先進的監控資產，使其能夠在處理過程中精確控制和監控模型的溫度。這樣可以確保光致抗蝕劑層得到準確的固化,並且過程中的溫度不會超過建議的極限。ACT12的軟件界面用戶友好、直觀。它提供各種編程選項，以及用於控制設備運行的直觀用戶界面。這使用戶能夠根據需要輕松設置和調整光刻膠層。該系統還提供先進的自動化功能，包括自動晶圓處理和校準。這使用戶能夠快速輕松地調整光刻膠的層和厚度。TOKYO ELECTRON ACT 12光抗蝕劑單元是一種處理和塗覆半導體晶片的強大、精確、可靠的機器。它的高級功能使用戶能夠快速、輕松地在晶片上獲得均勻和可重復的塗層,而其自動清潔臂確保晶片在加工前不會留下任何汙染物。先進的監測工具確保資產的溫度以受控的方式保持，使用戶能夠在處理過程中精確控制光致抗蝕層。它還提供了一個直觀的用戶界面，允許用戶輕松編程層和厚度級別。