二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239681 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是為了先進的半導體生產而設計的先進光刻設備。該系統集成了光刻過程的兩個關鍵組成部分；旋轉塗層和噴塗塗層。旋轉塗層在均勻層中對晶片施加光致抗蝕劑，而噴塗塗層則將光致抗蝕劑噴灑在由抗蝕劑圖樣指定的晶片區域上。TEL ACT 12單元對光刻膠的應用進行精確的控制，從而能夠更快地生產產量較高的復雜電路。TOKYO ELECTRON ACT12機主要有兩個組件：自旋塗層和噴塗塗層.自旋塗層采用高精度塗層頭，以均勻的圖案將光敏氣體輸送到晶片表面，確保抗蝕劑均勻施用。此外，旋轉塗層能夠以不同的速度旋轉，以確保在不規則形狀和彎曲的晶片上均勻分布。噴塗塗層在抗蝕劑圖樣所指示的位置將光刻膠噴灑到晶片上。這款噴塗塗料配有內置噴嘴，能夠產生細小甚至液滴的噴霧圖案，能夠在所需位置沈積精確量的光致抗蝕劑。TEL ACT12工具還配備了多種功能，旨在使光刻工藝更快、更高效。自旋塗料和噴塗塗料的機械精度允許更多的晶圓在一個循環中進行加工；每個周期最多15個晶圓。此外，該資產還具有一個先進的模型，用於在應用過程中控制抗蝕劑的溫度和濕度，減少塗抹或照明不良的風險。最後，設備包括一個計算機化的監測系統，能夠不斷監測每個周期的結果，使用戶能夠準確預測每個周期的結果，並根據需要進行調整。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12單元是大體積半導體生產的理想工具。旋轉塗料和噴塗塗料的精確度，以及為監測光刻工藝而設計的創新功能，使得ACT 12成為一臺強大可靠的光刻機床。