二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239682 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9239682
System Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12光抗蝕劑設備是一種先進的、高度自動化的塗層和開發系統。它旨在提供精確可靠的光刻塗層和蝕刻工藝。該單元以快速、高效的方式對半導體晶片施加光敏薄膜。它配備了直觀的用戶界面,使操作和調整設置變得容易,從而將光刻膠薄膜精確地應用於晶片表面。TEL ACT 12光刻機采用了現代、先進的工藝設計,使膠片質量和公差更好。該工具能夠精確、一致地應用薄至12納米(nm)層的光刻膠薄膜。TOKYO ELECTRON ACT12還具有精密閥門,可確保均勻且可重現的薄膜厚度。該資產還具有高性能的混合單元,可產生高質量的光刻膠溶液,而不會浪費未溶解的粒子。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ACT12 Photoresist型號配備了自動清洗裝置,以盡量減少汙染,減少停機時間。TOKYO ELECTRON ACT 12還包括一個自動泵機,精確調整過程的化學和壓力,從而提高了薄膜質量,延長了光刻膠的壽命。ACT 12具有先進的自我診斷功能,可確保清潔和塗層過程中的準確性和一致性。該設備還融合了激光功率監測、紫外線劑量監測、溫度控制等多項安全功能。ACT12光刻膠系統經CE認證,可提供安全、高性能的光刻膠塗層工藝。TEL ACT12 Photoresist單元是一種可靠、高效、堅固的解決方案,可準確、一致地將光刻膠薄膜應用於半導體晶片。它易於操作和維護,並具有確保高質量結果的高級特性和功能。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種通用的解決方案,使得它適合廣泛的應用。
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