二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9241966 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種用於多種工業和科學應用的光阻設備。光致抗蝕劑系統涉及利用光在諸如矽片、金屬板和玻璃等表面上創建圖像。TEL ACT 12系統利用脈沖和連續照明方法相結合，產生高保真圖像。該單元具有高精度、120 nm分辨率和0.9degree角精度,以及最小約900 mW/cm2的明亮光源。TOKYO ELECTRON ACT12的影像投影機包括一個多焦點可調鏡頭、一個X-Y級、兩個成像臂。成像臂能夠提供不同類型的閃電照明，包括脈沖閃電（PL）、連續閃電（CL）和恒壓（CV）。PL方法使用預定的脈沖寬度，使光刻膠暴露於所需的光強度。CV方法允許用戶以可變占空比控制投射光的電壓，從而可以精確控制光的強度和分辨率。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12的階段包括雙軸電動執行器，允許精確放置晶圓或基板，以便創建精確的圖像。舞臺還設有SmartRoute™工具，方便高效的晶圓運輸和定位。資產還包括一個視覺模型，有助於圖像控制（對齊和聚焦），並允許根據實時圖像反饋進行調整。總體而言，ACT12是一種光刻設備，可以在基板上形成高精度的圖像。自動化和先進的成像系統使其成為半導體生產等行業的理想選擇。可調透鏡系統、雙軸電動執行器、SmartRoute™單元都是使本機在控制和成型精確圖像方面極為有用的優勢特征。