二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244893 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款由TEL開發的用於半導體和平板顯示器生產的高性能光刻設備。該系統利用先進技術，通過光刻實現高度精確的蝕刻和圖樣沈積。該單元由四個主要組件組成：電源、步進電機、曝光光源和圖案化沈積工藝模塊。電源的任務是為機器提供精確和穩定的電力。此電源用於為步進電機和曝光光源供電。步進電機旋轉並精確定位光掩模,光掩模包含要轉移到目標基板上的圖樣。曝光光源是一種高度精確的輻射源，用於在基板上曝光光刻膠層，從而產生所需的圖案。圖案化沈積工藝模塊是工具的組成部分，通過即時、準確地控制沈積速率，使產品的實際材料能夠沈積。由於精密電機和先進的對準和控制算法，該資產能夠以極高的精度重新創建圖樣和基板特征。模型的運動控制精度在10-40納米範圍內。此外,TEL ACT 12還具有內置的數據管理功能。這樣就可以記錄和分析有關圖樣沈積的實際數據，以確保每次生產時產品的質量。該設備具有通過實際生產數據分析和反復試驗建立最優工藝參數的能力。該系統對於大規模生產至關重要，在這種生產中，精確度在微小的誤差範圍內可能意味著浪費產品的災難性成本。TOKYO ELECTRON ACT12的先進特性使其成為企業在生產過程中追求效率和優越品質的理想選擇。