二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244894 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是為了廣泛的應用而設計的光刻膠處理設備。它允許用戶以高精度和可重復性開發各種各樣的精細結構模式。該系統配備了先進精密的半導體工藝控制器，支持各種定制工藝。該設備能夠產生分辨率高達200 nm的高清模式。光致抗蝕劑工藝涉及在基板上施加一層光敏材料。一旦使用了光致抗蝕劑，它就會暴露在適當類型的光下，例如深紫外線。曝光激活了某些區域的光致抗蝕劑，材料在那些區域變得硬化，使其對隨後的化學過程免疫。TEL ACT 12機器附帶了一套專有軟件，為操作員提供了一個功能強大的範圍或工具和功能來設置所需的流程。它包括一個Soft Detail Generator （SDG）程序,它允許用戶在將模式處理成基板之前快速準確地模擬和調整模式。它還設有一個單獨的氣體控制站，可以精確調整每個工藝步驟的氣流。該刀具的精確度得益於其先進的運動控制資產,該資產提供動態運動輪廓以及運動穩定,以確保準確高效地放置圖樣。該模型能夠在X和Y方向上執行極快、高精度的基板運動。TOKYO ELECTRON ACT12還配備了先進的成像設備，允許用戶在創建模式時進行檢查和驗證。它利用高分辨率相機拍攝基板的圖像。它可以檢測基板中的微缺陷，並將此信息傳遞給控制器進行校正。該系統還得到自動晶片清洗和加工單元的支持，該單元為操作員提供高效、集成的過程控制、清潔、幹燥和預烘烤操作。集成設計允許以最小的努力執行高效和經濟高效的工作流程。ACT12是一種高效、經濟高效的光刻膠加工機,旨在實現廣泛的應用。它配備了先進的工藝控制器、精密的軟件、燃氣控制站、高精度和快速運動控制工具以及自動晶圓清洗工藝。它的高分辨率成像技術使其能夠檢測和糾正基板中的微缺陷，其集成的設計和高效的工作流程為用戶提供了一個功能強大且經濟高效的工具來滿足其光刻膠處理需求。