二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9250635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是利用先進技術在半導體集成電路上創建高質量、光刻生產的薄膜圖樣的光刻設備。這個系統，通常也被稱為一個先進的光刻單元，旨在使較小的圖樣能夠以非常高的速率產生。該機采用先進的光發射器，將其冷卻至極低溫度，以提高光發射效率。這些光發射器可用於用紫外線或其他光束照亮晶片層，然後與晶片上的化學塗層反應。光束是借助高功率激光二極管產生的，其輸出是借助先進光學控制的。光發射器還允許非常緊密的聚焦，這使得在配合適當的掩蔽技術時可以達到非常小的特征尺寸。TEL ACT 12工具還采用了先進的高質量鏡片，這些鏡片具有卓越的材料和專業知識。這些鏡頭的設計方式使其能夠實現極其精確的成像，這對於生產復雜的微觀特征非常重要。鏡片還允許很寬的視野和極長的工作距離，而不會造成光學失真或幻影。除此之外，該資產還可以與先進的濕式或幹式光刻工藝結合使用，從而可以生產更小的特征尺寸。這是通過混合使用創新的抗蝕劑、光致抗蝕劑漿料、化學處理和其他技術來實現的，以便有效地將圖樣轉移到晶片上。最後，TOKYO ELECTRON ACT12模型是非常可靠和準確的，使用先進的子系統，這意味著它能夠在不同的晶片上進行精確的重復模式。這與使用先進的光學和其他功能一起，使其成為最先進的光刻系統之一，非常適合創建復雜的集成電路。