二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251071 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，設計用於實現各種半導體材料的精確和受控沈積。該系統由蒸發源、惰性氣體載體單元和精密控制單元組成。蒸發源由高效直流電（DC）或交替電流（AC）電源和獨一無二可容納2,300克材料的crucible設計組成。惰性氣體載體機包括兩個主要部件：真空適配器和帶有半透膜的載體室。真空適配器有一個載流子腔的連接點，允許引入精確水平的惰性氣體。控制單元具有精確的PID自動調整工具、動態溫度指數控制（TIC）、實時記錄資產和精確警報模型等高級功能。PID自動調諧設備監視源腔室溫度,以確保在幾分鐘內達到所需的溫度水平。TIC系統允許在一定溫度範圍內進行精確和可重復的沈積。實時記錄單元記錄每個實驗期間的數據，可現場和遠程使用。精確的報警機監視並發出過程中可能出現的任何不規則性信號，允許用戶在任何損壞發生前采取糾正措施。整個工具重量輕,效率高,重量僅為20公斤,只需240V便可汲取動力,適合各種應用。它還具有一個集成的排氣收集器，用於收集和消除潛在的有毒物質。此外，資產是高度可配置的，允許為每個沈積編程和優化自定義參數和配方設置。因此，TEL ACT 12是各種半導體精確和受控沈積的理想解決方案，允許用戶達到與行業標準相當的產量和質量水平。