二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是為先進的光刻應用而設計的高性能光刻設備。光致抗蝕劑是用於半導體加工的最重要的單一材料，TEL ACT 12被開發出來提供了最高的性能和重復性。TOKYO ELECTRON ACT12設計為提供精確控制的光刻塗層，在整個晶圓上均勻。它是一個模塊化系統，可以配置為匹配任何給定應用程序的需求。該單元的核心部件包括兩個用於光刻塗層的沈積室、一個自旋漂洗幹燥機、一個烤箱、兩個塗層後清潔站和一個專用的十端口盒式裝載機。TEL ACT12利用各種先進技術來確保高精度的光敏沈積。其中包括可編程沈積頭、激光幹涉儀反饋機、溫控幹燥、自旋沖洗幹燥以及用於精確塗層控制的自動TEL光學工具。該資產還具有高精度的五級晶片真空卡盤設計，以確保精確和一致的結果。TOKYO ELECTRON ACT 12能夠每小時塗覆高達4,000晶圓，並且可以配置為容納各種不同厚度的光敏膜。ACT 12的設計是為了確保出色的後塗層清潔，有兩個內置的清潔站。這些腔室經過專門設計，可有效清除薄膜殘留物和其他表面汙染物，而後塗層烤箱則可清除塗層過程中殘留的任何材料和汙染物。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12配備了TOKYO ELECTRON ADVANCED軟件，允許手動和程序化控制所有型號參數。該軟件允許精確控制光刻膠沈積，並能夠存儲和分析多次運行的數據。ACT12是一種先進的光刻設備，旨在為光刻應用提供可靠、精確和可重復的結果。其高性能特點，包括可編程沈降頭、激光幹涉儀反饋系統、溫度控制器、自旋漂洗幹燥機、自動光學單元、五級晶片真空卡盤、後塗層清潔等，保證了優異的效果。利用TEL/TOKYO ELECTRON高級軟件，可以對所有塗層參數進行控制和分析。