二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9255021 待售
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單擊可縮放
ID: 9255021
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Coater / Developer system, 12"
(4) Load ports
(4) Spin modules
(22) Plates
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光刻設備，用於光刻和蝕刻工藝。該系統主要用於生產印刷電路板，因為它允許對基材進行非常精確的圖樣化。該單元由光致抗蝕層、接觸面膜、曝光單元和顯影劑單元組成。光致抗蝕層是光或輻射相互作用的元素。光致抗蝕劑層是一層對輻射敏感的薄層材料，因此當光或輻射通過接觸面膜時，會與光致抗蝕劑發生反應，引起化學變化。這種變換特定於輻射的能級，因此使用具有各種不同能級的接觸掩模允許選擇性去除和改變光刻膠層。接觸面膜本身通常由玻璃、石英或金屬基板組成，上面印有輻照圖像。這會在光致抗蝕劑層上創建有選擇地暴露的區域,從而能夠創建特定的圖樣。接觸面膜直接放置在光致抗蝕劑層的上方。曝光單元是將接觸面罩置於其上的元素。該單元發射改變光刻膠所需的輻射。根據使用的輻射類型和設置，可以達到不同的效果。輻射變化是為了提高正在創建的圖樣的準確性。最後，TEL ACT 12的最後一塊是開發者單元。這是在輻射照射完成後使用的。顯影劑裝置的工作原理是去除光致抗蝕劑層的裸露部分，使未暴露部分保持完整。這樣可以對基材進行非常精確的圖樣處理。總之，TOKYO ELECTRON ACT12是一種復雜而精確的光刻機，可用於在基板上創建精確的圖樣。通過使用經過專門調整的輻射水平和接觸面罩，可以實現光刻膠層的選擇性去除和改變，這使得可以生產高度錯綜復雜的印刷電路板。
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