二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9270889 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是領先的微電子公司在生產集成電路和其他敏感電子元件時所使用的光阻設備。它是一種通用的高精度光刻系統，利用電磁輻射如紫外線或電子將圖樣印在感光材料上。TEL ACT 12單元采用機械級和真空板的精密機構，產生精細的分辨率和景深控制。可移動的兩軸精密機械級用於對齊和移動光刻晶片。無論晶片大小,其精度都能確保高質量的結果。舞臺可以在X和Y方向上移動，能夠達到0.0001微米的精度。在成像過程中,真空板將基板固定在適當的位置,因此晶片在成像過程中不會移動。光致抗蝕劑是使用自動化學機器，它精確地分配所需的抗蝕劑在基板上預先確定的模式。這種抗蝕劑在光刻過程中保護基板。分配過程由計算機控制，以確保化學品的準確性、可重復性和有效使用。成像工具包括一個真空密封的投影式光刻工具，它使用紫外線將圖樣從掩模轉移到光刻膠上。對於大型基板，該工具能夠達到最低11 µm精度和0.35-µm分辨率。它專為高通量生產而設計。TOKYO ELECTRON ACT12資產還具有自動缺陷分析和檢測功能。此功能使用復雜的軟件算法來查明模式中的缺陷,使制造商能夠快速高效地識別和解決錯誤。TEL Photoresist ACT 12模型旨在為制造商提供高精度、可重復的光刻和成像結果。這確保了微電子元件生產和制造的最高精度和可重復性。