二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9271250 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，用於半導體制造行業內的蝕刻、沈積和清洗過程。它是一種先進的技術，可以準確控制表面薄膜層的蝕刻。TEL ACT 12使用戶能夠以高分辨率、高長寬比和最小的光敏殘留物精確地繪制、繪制和蝕刻微特征。TOKYO ELECTRON ACT12包括一個工具架、一個操作控制臺、一個專用光圈控制單元和一個激光照射系統。前兩個組件允許用戶控制設備以及相應地監視和調整參數。專用孔徑控制單元（SACU）負責確保微觀結構的最高分辨率。它通過使用緊密集成的激光束、快門和光學器件來實現這一目標。通過調整激光束大小、光束形狀、焦點大小和位置，機器能夠以盡可能小的特征大小準確地生成所需的圖樣。激光照射工具旨在有效地蝕刻高長寬比的微型材，並且具有最小的光致抗蝕劑殘留物。這是通過結合計算機控制的激光模式發生器和外部調制的激光光學資產來完成的。TEL ACT12旨在運行不同的進程。沈積過程允許用戶在表面上沈積具有所需特征的薄膜，而蝕刻過程有助於在基板上精確蝕刻圖樣。模型還可以在蝕刻過程後執行停用過程（清潔基板表面）。TOKYO ELECTRON ACT 12是一款用途極為廣泛的光刻設備。它能夠創造出與各種不同基板兼容的超精細特性,同時始終取得卓越的效果。這些特點，加上簡單的面向用戶的操作，使其成為微加工行業中蝕刻、沈積、清洗過程的理想選擇。