二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9289936 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是TEL Limited的光刻膠設備。該系統可高速生產微電子設備和其他組件,而不會影響精度。該裝置采用液體光致抗蝕劑材料，通過自旋塗層工藝將其應用於晶片表面。此應用程序非常精確,使用高級控制算法來補償位置錯誤。一旦應用了光致抗蝕劑，TEL ACT 12將紫外線光源應用於晶片。這種光經過精確校準，可以設置為特定的波長、光束輪廓和強度。有了這種光，光刻膠材料就會暴露在適當的光和熱圖樣中，從而創造出光刻膠中的詳細特征。光致抗蝕劑暴露後,將零件放置在輔助加工室中。在這裏，光刻膠暴露於曝光後的烘烤過程中。這有助於將材料重新定位為所需的形狀,並允許光刻膠中的特征變硬並變得更耐用。最後,可以將零件放入顯影劑溶液的浴缸中。這種浴液蝕刻掉了這種不需要的材料，在這些材料中沒有施加光和熱，留下了光刻膠中設定的特征模式。在這之後，可以用第二個顯影劑溶液去除了剩下的材料，包括光致抗蝕劑，完成過程。TOKYO ELECTRON ACT12是TOKYO ELECTRON LIMITED的精密光刻機，專為微電子元件的精確制圖而設計。該工具利用旋轉塗層工藝、精密紫外線、曝光後烘烤和顯影浴來創建光刻膠的詳細特征。這一資產對於快速生產微電子元件是有效的，而不影響精度。