二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290880 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種為微加工而設計的光刻膠設備。該系統是一種先進的光阻處理技術,使客戶能夠以無與倫比的精度、可重復性和速度生產半導體器件。它由幾個組件組成，包括一個紫外線源、自動曝光控制和自動對準單元。UV光源是一種高能氙弧燈，它發出紫外線，用來曝光光刻膠上的圖樣。發出的光通過鏡面透鏡聚焦並指向晶片。自動曝光控制監控和調整光線強度，以確保一致曝光。自動對準機使用先進的激光掃描儀檢測光刻膠上的圖案。然後，掃描儀計算光刻膠相對於遮罩的位置和方向，並相應調整對準。這樣可以確保光刻膠上的曝光圖案準確且可重復。一旦曝光完成，就開發出光刻膠。丙酮通常用於去除光刻膠的裸露部分，留下圖案。然後將此圖樣用作蝕刻基板的模板。TEL ACT 12是一種功能強大而精確的光刻工具，可以處理具有復雜功能集的小型設備。它具有紫外線源、自動曝光控制和自動對準資產等功能,使客戶能夠生產精確度和可重復性無與倫比的半導體器件。此外,該模型與各種基材和抗蝕劑兼容.