二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9315813 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，設計用於處理微芯片制造過程中使用的化學品。它專為光刻膠在半導體晶片上的應用而設計，具有高度精確的測量和控制系統。TEL ACT 12利用基板傳輸系統，該系統用於在整個單元內傳輸半導體晶片，而無需使用機械拾取工具。這樣可以對過程進行更精確的控制,確保通過機器的每一批晶片均能獲得一致的高質量結果。光刻工具由幾個不同的模塊組成，每個模塊負責晶圓制造過程的不同階段。加熱模塊用於在精確的溫度和時間下加熱晶片，確保光致抗蝕劑均勻和完全地應用。另一個模塊用於混合和分配顯影劑，以適當開發光致抗蝕劑，還包括精確的安全措施，以確保與極為有效的化學品相關的危害非常低。資產還具有控制模塊，用於配置光刻膠應用過程的每個階段。通過此模塊,可以最佳地配置給定配方,確保精確的濃度水平、分散周期和安全監控措施適合客戶的需要,並確保不會因劑量或濃度錯誤而出現危險情況。此外，TOKYO ELECTRON ACT12采用閉環模型設計，可實時監測和記錄與光刻膠工藝各階段相關的各種參數。這為用戶提供了一種額外的安全檢查手段，確保立即解決設備中的任何違規問題，同時避免對晶片造成潛在損害。最後，該系統設計得極為緊湊，空間效率極高，能夠在有限的區域內安裝其中幾臺機器，對其他工藝或設備設備的幹擾最小。對於那些希望最大限度地提高其處理能力而又不犧牲寶貴空間的客戶來說,這是一個理想的選擇。最重要的是，ACT 12的封閉性質保證了所有程序都受到密切監測，防止未經授權進入或受到外部來源的幹擾。