二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9358605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一種用於制造先進集成電路的光阻設備。它由光源、光學、噴霧分配系統、控制器和軟件組成。光源可以精確地曝光光刻膠材料，然後由噴霧分配裝置將其分配到晶片上。控制器和軟件提供機器的控制和監督，並能夠編程曝光參數，應用光刻膠，以及設備診斷。光源基於頻閃光照，具有電子束二極管。電子束經過光束發射器，然後是透鏡，最後是狹縫光圈。這樣一來，曝光就會擴大，並實現均勻的光分布。光學器件的設計確保晶圓上的照明模式非常均勻。光學元件包含彩色濾光片和光圈遮罩,可優化景深並提高均勻性。噴霧分配工具采用壓力脈沖和低壓、高頻產生的電場相結合。這使得光敏材料能夠均勻、準確和可重復地覆蓋到晶片上。控制器和軟件控制資產的操作，允許用戶設置曝光模式或對整個過程進行編程。軟件還生成屏幕診斷程序,為用戶提供有關模型和組件狀況的反饋,並分析生成的圖像。綜上所述，TEL ACT 12光刻設備是一種精密高效的復雜集成電路制造方法。通過將光源、光學器件、噴霧分配系統、控制器和軟件相結合，設備能夠提供高質量和一致的結果。