二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9377247 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是用於光刻工藝的光刻設備。該系統使用反應性化學將布局模式轉移到諸如晶圓之類的基材上。整個過程圍繞著一個叫做光刻的過程，在這個過程中，光被用來將一個圖案從一個掩模轉移到一個晶圓上。該過程開始於一種光敏材料，也稱為光敏材料，被應用到晶片上。這種光致抗蝕劑暴露於用作遮罩的光中。當晶片以一系列化學物質發展時，晶片上只剩下暴露於光的區域。TEL ACT 12是一個高度精密的單元，能夠控制準分子激光所使用的紫外線，從而能夠精確控制光照持續時間和強度。這種高級控制功能的組合允許精確和復雜的圖樣打印到晶圓上。機器由計算機控制的晶片步進掃描儀操作，負責精確定位晶片，使掩模精確對準晶片的電路模式。這種步進掃描儀還具有控制光刻膜聚焦位置的能力，以確保精確的圖樣打印到晶片上。然後，光致抗蝕劑在顯影劑中顯影，光致抗蝕劑的裸露部分溶解掉，形成所謂的「顯影」光致抗蝕劑。此過程允許對集成電路中的各層進行精確蝕刻。TOKYO ELECTRON ACT12工具可以容納從高純度矽片到石英和玻璃等多種基材，並且可以結合不同數量的步進掃描儀工藝以適應不同的光刻應用。它能夠同時執行眾多過程，使其成為生產半導體器件中不可或缺的工具。綜上所述，ACT12是一種光刻資產，利用紫外線和反應性化學在基板上精確蝕刻圖樣。該模型用途廣泛，可容納範圍廣泛的基材，從高純度矽片到石英和玻璃，並且可以結合不同數量的步進掃描儀工藝，以適應不同的光刻應用。