二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9384924 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是由TEL Limited（TOKYO ELECTRON）由光源、光掩模和投影光學器件組合而成的光阻設備。它是一個主要用於半導體工業生產集成電路的大型註冊和模式系統。該單元由光學機器、基板表和控制工具等三個主要組件組成。光學資產有兩個主要組成部分：光源模塊和投影透鏡。光源模塊由短波長準分子激光器、氣體激光器和照明燈等源組成。光學模型中使用的投影透鏡被設計為提供最高質量的圖像聚焦，以便精確地將圖樣復制到基板上。采用高精度5軸基板級精確定位投影透鏡下方的晶片。5軸級提供了高穩定性和高精度,以支持可在最新技術中解決的最小陣列特征。控制設備基於Windows OS平臺，允許用戶友好操作。它包括自動對齊功能以及其他復雜的陣列控制功能。該系統可用於通過使用單個光掩碼創建重復模式。或者,該單元可以使用多個按順序編排的光掩碼,以獲得更復雜的圖樣。TEL ACT 12專為大批量生產而設計,具有高通量、低成本、可靠性和可維護性,使公司能夠為客戶提供高效的工具,將其設計轉換為物理設備。該機適合打造多種元件，包括射頻元件、薄膜晶體管、內存芯片和復雜的處理器設計。由於其最小寬度可達到7nm,因此適合在單個模具上生產需要示意圖和微機械陣列的元件。綜上所述，TOKYO ELECTRON ACT12是由高精度光學元件、5軸基板級和精密控制資產組成的先進光刻工具。該模型具有優異的性能和高質量,非常適合生產需要微型和復雜模式的元件,是半導體行業的寶貴工具。