二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9402603 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12光刻設備是用於制造半導體晶片的光刻系統。該單元應用光敏膜，稱為光抗蝕劑，以化學方式修改晶片的表面。它利用紫外線來有選擇地影響光刻膠，從而能夠在晶圓的表面上創建圖案化的層。TEL ACT 12機器由光源、控制工具、抗蝕劑和舞臺四個主要部件組成。光源使用燈和導光板將紫外線均勻地施加到晶片表面。資產的控制模型包含幾種控制功能，如控制光強度的可編程方法，以及軟件控制的定時mod。抗蝕劑塗抹器使光刻膠塗在晶片上，並控制薄膜的厚度。該級用於以允許紫外線覆蓋整個表面的方式精確移動晶片。TOKYO ELECTRON ACT12設備的UV光可以聚焦在晶圓上創建單層和多層設計。這允許廣泛的設備設計，從微米級特征的微芯片到分子薄層。此外，其先進的控制系統為保證抗蝕劑的均勻沈積提供了高度的精度。ACT12單元使用自動模式識別（APR）和自動對焦校正等高級功能來確保精度和準確性。APR是一種使用傳感設備檢測紫外線光源「曝光」階段產生的模式變化的方法。自動對焦校正是一種修正紫外線水平小偏差的算法，導致整個晶片的模式均勻。總之，TOKYO ELECTRON ACT 12光致抗蝕器是一種用於半導體晶圓加工的強大工具。它利用紫外線光源、抗蝕劑和高度先進的控制工具來創建統一和精確的模式。APR和自動對焦校正實現了可靠高效的操作，使得復雜設備的制造成為可能。