二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9412735 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款光刻設備,旨在為半導體制造提供先進的光刻工藝能力。這種最先進的系統能夠準確高效地開發具有卓越圖像分辨率和均勻性的先進設備體系結構。光阻裝置采用全步進掃描成像機,利用高分辨率光學和多種成像模式,創建增強的圖樣和圖像。TEL ACT 12具有廣泛的參數,允許用戶自定義該工具以滿足其在一系列流程中的確切要求。其完整的步進掃描成像資產能夠產生最高的圖像分辨率圖像,高達0.18微米。該模型具有兩種成像模式:全場成像和步進掃描成像,以便為用戶提供多種成像選項。全場成像在一次曝光中生成整個圖像,而步進掃描成像通過多次曝光生成更高分辨率的圖像,然後將這些圖像組合起來。TOKYO ELECTRON ACT12提供了一系列增強用戶體驗的附加功能。這些功能包括自動晶片對準和定心、光束自動聚焦以及低k黑邊預防。自動晶片對準和定心設備有助於確保最高的圖樣放置精度,而光束聚焦功能可提高分辨率和變焦。黑邊防護功能最大程度地減少了由於從暴露的光刻膠邊緣衍射而產生的圖樣失真。TOKYO ELECTRON ACT 12的用戶界面可以方便的導航和控制系統。它帶有高度直觀和用戶友好的圖形用戶界面。通過這個界面,用戶有能力操縱和監控整個過程的參數,以及對數據進行實時分析。此外,該單元還配備了數據存檔和檢索機,以提供無縫的用戶體驗。TEL ACT12是一種高效且先進的光刻工具,旨在提供最高質量的圖像,同時比以往更快、更高效地完成流程。由於資產中所包含的各種特性和功能,它對於那些參與半導體制造的人來說是一個可靠而有效的工具。
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