二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #293610442 待售
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單擊可縮放
ID: 293610442
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Chiller
Chemical box
Power box
Temperature and humidity controller
Signal tower: (3) Lights
Open cassette carrier
Bake board type / Cooling board type: Proximity, Spacer
Solvent supply method: Canister automatic switching, 10 L
DEV Cup: PP+POM
Modules:
I/F
ADH
(3) TRS
(3) CPL
(6) LHP
CWH
WEE
(4) STG
DEV Nozzle:
E2 Nozzle
Rinse
Back rinse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是由世界領先的半導體製造設備製造商之一TEL所研發的光刻膠設備。該系統能夠在晶片上創建電路和其他模式，分辨率為5 µm。它是一種多圖樣的光刻膠單元，可以在一次曝光中對多層進行圖樣化。TEL ACT 8具有較大的晶片容量，從12「到24」，能夠同時處理大量的基板。其先進的光學機器允許精確、均勻的圖案。其高速掃描儀可以比以前的型號移動基板更快、精度更高。它具有精確的等離子體給藥技術，以更好的邊緣放置精度，並能適應高速電弧編程的精確模式。TOKYO ELECTRON ACT 8工具也有出色的晶圓對準能力，得益於其先進的數值孔徑資產。再者，晶片可以通過其內置的光學顯微鏡來更密切的檢查，可以用來發現缺陷或觀察基板表面。該模型還提供了低顆粒汙染和嚴格的顆粒控制。它配備了自動掃描粒子探測器，以確保更清潔的環境，並監控設備中存在的粒子的大小和數量。與粒子探測器一起，系統還可以減少水分和清潔房間空氣造成的汙染量。此外，該裝置還裝有溫度控制機，可確保產品加工的穩定環境，減少產品暴露過程中的熱漂移。這一特點也最大限度地減少了薄膜收縮，提高了產量。TOKYO ELECTRON ACT 8工具是半導體工業中一些最先進的光致抗蝕劑工藝的理想解決方案。其卓越的分辨率能力和對薄膜厚度的嚴格控制使其成為最可靠、最穩定的光刻膠系統之一。憑借先進的特性和能力，ACT 8資產是生產集成芯片中所有光刻膠需求的絕佳選擇。
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