二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9113642 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種對薄膜表面進行圖樣化的光敏設備。設計用於半導體器件制造研發中的精密光刻加工，用於生產特征尺寸小、可重復性高的復雜納米結構。該系統配備了8英寸角補償投影光刻（ACPL）單元，允許在廣泛的基材上成像，而不會造成圖案的變形或變形。它具有先進的光學機器，它結合了專門的透鏡和數字處理算法，以高分辨率準確地投影出各種結構化模式。該工具構建在針對多方互操作性優化的平臺上，允許與一系列基座、試驗臺設備和機器人系統集成。這一集成資產可以在微光學、微光子器件和到納米級的圖樣等領域提供精密、高精度的成像解決方案。TEL ACT 8還能夠通過集成的原位圖像評估進行過程調試。這種從陣列到結果的反饋循環允許更快速地優化陣列過程。采用濕法化學清洗模型，去除殘余抗蝕層和其他沈積材料。該設備還配備了一系列以應用為重點的功能，包括灰度光刻、無掩模光刻和定向選擇性曝光等先進的圖案技術。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 8是一種高性能、可靠的光刻膠系統，適用於小型特征尺寸的先進陣列技術。該單元的集成設計和增強的應用重點確保了其用戶的高可重復性、靈活性和易於處理。