二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9121685 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種光阻設備，設計用於蝕刻、曝光、對準和開發用於制造半導體器件的光掩模或光掩模。它是一個先進的光刻系統，具有先進的微處理器控制步進單元。TEL ACT 8的最先進的特點是它能夠將光掩模相對於晶圓精確對齊。該機器允許精確和可重復對準,精度為+/-2微米。這樣可以確保將暴露在晶片上的任何圖樣都準確地註冊到掩碼上。該工具還具有最先進的多階段曝光資產,可實現快速、準確的曝光。該型號包括一個由精密微處理器控制的一個抵抗旋轉器和一個10,000 rpm旋轉器。這樣就可以對抗蝕劑材料進行精確、可重復和均勻的沈積。TOKYO ELECTRON ACT 8還具有非常精確、可重復的真空卡盤。這樣可以牢固地固定晶片而不會打滑，防止晶片表面受到任何汙染。該設備包括一個光源，即DUV（深紫外線）或IR（紅外線），允許在曝光時使用特定波長的光。還包括一個工藝氣體處理系統，在開發階段可用於化學灰化，以及在蝕刻和開發過程中控制大氣和溫度。曝光和開發單元采用高分辨率攝像機，可實時觀察開發過程，並提供透焦視圖，這意味著即使在小特征尺寸下，曝光和開發過程也可根據預期結果進行優化。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8還能夠監測加工室內的環境條件，包括溫度、濕度、氣流和壓力感測。這確保了過程結果的一致性,並且是許多需要精確環境條件的過程的重要特征。ACT 8是一個可靠的光刻單元，具有精確、可重復的對準和先進的自動曝光和開發機器。其全自動操作使其成為任何生產環境的理想選擇。