二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9122207 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
已售出
ID: 9122207
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
(2) Coaters SOG system, 8"
Wafer type: Notch
Signal tower: ETC (3-lamp)
Main controller version: Version #2
Software version: N/A
Inline: No
DUV (chemical filter): No
Manual operation: No
Cassette block: Normal type (TEL STD)
Process block: Single block
SOG Coater: 2-3, 2-4
High hot plate (HHP): 2-13, 2-14, 2-21, 2-23, 2-24
Low hot plate (LHP): 2-11, 2-21, 2-12
Chill plate (CPL): 2-5, 2-9, 2-15, 2-17
Transition stage (TRS): 2-8/2-7 TCP
Thinner chemical supply: CCSS (2 buffer tank)
(1) AC Power box
(1) Cup temp/humi: ESA-2S-T-01
(1) Temperature controller: INR-211T-24 (2) pumps, (4) CPL
(1) Chemical cabinet
Missing / Damaged parts:
LCD
DC Power supply
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種光致抗蝕劑設備，結合了先進的技術使其能夠在光刻系統中使用。光致抗蝕劑系統對於在晶圓和數碼相機鏡頭等基板上創建微觀結構非常重要。這個光刻單元允許以極高的精度在晶圓或透鏡上形成這些微結構。TEL ACT 8由幾個重要組成部分組成。其控制機集成了強大的可編程邏輯控制器（PLC）技術。這控制了應用光刻膠所需設備的操作順序。它還監視光刻膠的暴露水平。所使用的自動化技術非常精確，可以精確地調整所涉及的過程。TOKYO ELECTRON ACT 8具有內置的計算功能，以確保其輸出的準確性和可靠性。它可容納多達192個步驟的光致抗蝕劑曝光。這使得高定制曝光光刻膠既精確又可靠。該工具還提供多種內存模塊,存儲容量最多為8Mb。這樣就可以全面存儲暴露數據以及其他必要的信息。光刻膠系統進一步配備了尼康/Vistion專有的薄膜測量算法。此功能可確保精確測量暴露情況,從而提高所涉及過程的總體準確性。TEL ACT 8還具有獨特的芯片和兩個16位高速處理器。這增強了資產的能力,並有助於在可靠性和準確性方面優化芯片的性能。談到安全，TOKYO ELECTRON ACT 8配備了故障安全模型。此功能很重要,因為它可確保設備不會因意外事件而發生故障。安全功能有助於減輕操作過程中可能發生的任何嚴重問題或故障的可能性。總體而言，ACT 8是一種先進但直觀的光刻設備。它提供了一定的精確度，鼓勵在多種情況下靈活使用它。所采用的先進技術有助於提高光刻膠系統的準確性，從而實現高質量的輸出。
還沒有評論