二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142708 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8（TEL/TE TEL ACT 8）是由TOKYO ELECTRON（TEL/TOKYO ELECTRON）開發的光刻膠設備。該系統是為利用曝光和開發過程制造高質量集成電路而設計的。該單元由一系列物理元件組成，包括超高頻掃描儀、能源和基板支架。該掃描儀用於將一定曝光波長的高強度光束對準和引導到基板支架上。光束再由電場等離子體（E-F-P）控制器調制，允許光阻層的精確且可重復的曝光。基板支架設計用於在曝光過程中保持基板層和光致抗蝕層。其設計目的是將E-F-P控制器引起的基板加熱效果降至最低。最後，機器還配備了多項安全功能，如緊急停止開關，允許操作員在緊急情況下自動停止該過程。TEL/TE TOKYO ELECTRON ACT 8光致抗蝕劑工具極為精確且高度可靠。它能夠以0.18微米的分辨率產生相對較大的圖樣，如標準電池，特征尺寸為0.25微米。這樣可以實現電路的高密度集成,並使其成為內存和微處理器等高級產品的理想選擇。此外,該資產的像素對像素失真率非常低,為0.5%,可確保在較長時間內保持模式精度。TOKYO ELECTRON/TE ACT 8在同一模式上編程多次曝光的能力進一步提高了這種失真率。綜上所述，TOKYO ELECTRON ACT 8是一種高度可靠的光刻膠模型，提供精確的模式和電路的高密度集成。其特點包括通過E-F-P控制器調制光源，最小基板加熱，像素對像素失真率低。這種設備是制造先進集成電路的絕佳選擇。