二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142710 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9142710
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
(4) Coater / (3) Developer system, 8" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是設計用於各種光刻工藝的光刻設備。該系統用於將光刻膠材料光學暴露於紫外線(UV)或極紫外線(EUV)下,允許在光刻膠中形成圖案。TEL ACT 8采用投影光學,有效放大了感光材料中圖案的某些特征。光致抗蝕劑單元包括一個投影面罩,其中包含圖樣、投影透鏡和各種光學元件,將UV或EUV光引導到感光材料上。投影光學器件提供高分辨率和準確度的光敏材料的曝光。這臺機器可以與各種掩碼對齊器和步進器配合使用,允許廣泛的性能能力。此外,TOKYO ELECTRON ACT 8可用於各種操作,包括模式轉移和比對註冊。此外,還可以將一系列開發過程與光刻膠工具結合使用。此外,該資產可用於一定範圍的溫度和壓力設置,允許優化過程以獲得所需的結果。這種光刻膠模型可靠易用,適合多種應用,包括半導體光刻、平板生產、光學MEMS制造等。設備還與多種基材兼容,如矽、石英、玻璃等。ACT 8有各種尺寸和配置,以滿足不同行業的不同需求。光刻膠系統符合各種國際質量標準和安全協議,適合各種關鍵應用。該單元可與一系列附件一起使用,如晶圓處理和機器人手臂,以增強其功能。該機器還具有內置的數據記錄工具,以便於跟蹤資產性能和操作數據。總體而言,TEL ACT 8是一個可靠和精確的光刻模型,設計用於各種光刻工藝。它易於使用,可與一系列掩碼對齊器、步進器和開發過程一起使用。該設備適合各種應用,有各種尺寸和配置。
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