二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9159075 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9159075
晶圓大小: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8" (7) LHP (3) CHP (1) HHP (5) CPL (1) CWL (2) TRS (1) ADH.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是為制造高分辨率、高精度微電子而開發的先進光刻設備。該系統具有強大的光學、掃描和圖像處理功能,使用戶能夠生產具有微觀特征和令人難以置信的小型結構的設備。該單元由多個組件組成。采用最大波長為248nm的準分子激光器直接成像光敏膠片。光敏膜是在一個特殊的塗層室中制備的,通過使用惰性氣體均勻分散。這使激光器能夠精確形成創建小型設備所需的結構。該機的光學元件由一系列聚焦和重新聚焦激光束的透鏡組成。為提供精細的細節,鏡頭系統設計的公差極小。它們由兩個獨立的小組組成;一組用於初始成像,另一組用於推進特征大小。這些組還配備了幾個額外的設備來微調成像質量。為了精確地引導激光束,設計了一個電子控制的檢振掃描鏡。利用這種工具,任何角度都可以快速準確地掃描,以形成極小和復雜的微電子。TEL ACT 8的圖像處理能力是創建高精度設備的組成部分。數字圖像處理器用於識別任何不規則性並進行補償以確保精確的一致性。甚至可以檢測到納米級的特征,以保證精度和質量。TOKYO ELECTRON ACT 8還具有健壯的成像後解決方案。在成像過程之後,預制了一系列先進的治療方法,以進一步提高設備的性能。氣體處理可用於優越的附著力,堿處理可用於提高導電性。ACT 8具有強大的光學、掃描和圖像處理能力,是創造微電子器件的寶貴資產。它的高級功能和成像後解決方案使用戶能夠創建性能得到改善且功能小巧復雜的設備。
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