二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9181934 待售
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已售出
ID: 9181934
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
(2) Coaters / (2) Developers system, 8"
Software version: 1.18.003
Hardware configuration (Fab):
Main system:
(1) Main body CS block
(1) Main body process block
(1) Main body interface block
(1) T&H controller
(1) Chemical cabinet
SMIF System:
(4) SMIF Indexers
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
(1) AC Power box
Equipment configuration:
Software: JapDOS
Controller: Silicon disk
Floppy disk drive: 3.5"
Hardware:
(4) Indexers
(3) Robot arms
(5) Cool plates
(6) Low temp hot plates
(2) Hot plates
(1) AD Unit
(1) WEE
(1) Cup wash
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）開發的光阻設備。該系統可用於各種應用，如光刻、蒙版和蝕刻工藝。這種光刻裝置具有許多特點，使其成為各種光刻工藝中的絕佳選擇。首先，這種光刻機采用一種特殊類型的曝光頭，可以調整以提供不同程度的曝光。這使用戶能夠根據他們正在處理的光刻過程來調整曝光。另外，這種光刻膠工具還使用了高度敏感的一代抗蝕劑，用於提供出色的抗蝕劑均勻性和可靠的圖案。這種抗蝕劑也可用於一定範圍的薄膜厚度。此外，TEL ACT 8還配備了一個自動曝光傳感器資產，能夠確定每個光刻工藝的最佳曝光。此模型將為用戶提供設置和控制曝光設置的自動化過程,以確保結果一致。設備還包括多種其他功能，如自動缺陷檢查系統、車載監視器、報警單元和用於從基板上取出薄膜的真空單元。它還包括一個自動關閉快門。此外，機器還可以與外部晶圓處理機器人集成，用於自動晶圓操作。TOKYO ELECTRON ACT 8被設計為光刻工藝的簡單、經濟高效的解決方案。它易於使用,性能可靠,效果優異。小型和大型制造工廠都可以從將此工具集成到其生產過程中獲得巨大收益。
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