二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9183643 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是將先進的曝光控制技術與光刻工藝相結合的光刻設備。該系統使用專有的曝光控制和定位算法,確保線寬曝光和對準的高精度和準確性。此外，該單元的快速響應和可靠的曝光能量補償確保優秀的線寬均勻性橫跨晶片。TEL ACT 8機器采用大面積的高分辨率晶圓成像曝光控制技術，確保了出色的步進和重復精度和對準。這包括自動曝光控制工具算法,這些算法可提供高級曝光控制和曝光控制微調,以進行有效的曝光管理。此外，它的大面積成像和高光學放大倍率確保了資產能夠檢查高精度光刻過程中的小缺陷、細小圖案和接觸孔。TOKYO ELECTRON ACT 8模型使用軟件控制的顯微鏡掃描提供高精度對準，以協助高精度和可重復曝光效率。此外，其晶片處理程序和掃描儀可提供高達30微米的步進和重復精度，從而確保高質量和更均勻的光刻工藝。TEL ACT 8設備還配備了先進的工藝監視器，可以連續監控曝光穩定性和模式大小變化，以便準確地保持輸出。此外，系統還有一個集成的自動缺陷檢測分析（ADIA）程序，在光刻過程中自動檢測異常。這使用戶能夠快速識別任何潛在問題並減少生產中的缺陷。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種高性能的光致抗蝕劑單元。它將先進的曝光控制技術與光刻工藝相結合，確保了線寬曝光和對準的高精度和準確性。它的快速響應和可靠的曝光能量補償確保了晶片之間出色的線寬均勻性,而其大面積成像和先進的Process Monitor和ADIA程序提供了識別潛在問題和減少缺陷的能力。