二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9213368 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種最先進的光阻設備，非常適合半導體器件制造應用。該系統結合了先進的技術和可靠性和易用性，以確保過程的一致性和提高產量。該單元從基板開始，基板上塗有光敏抗蝕劑材料，稱為光敏抗蝕劑。一旦塗覆，抗蝕劑就暴露在紫外線下，使暴露的區域聚合。然後，這個暴露的區域對隨後的化學蝕刻過程變得不敏感，該過程會去除未暴露的區域。TEL ACT 8利用七軸運動控制機精確劑量和控制暴露劑量率。這允許高分辨率的陣列和提高工藝產量。整個工具可以集成到廣泛的設備制造過程中。作為這種集成的一部分，控制軟件提供了一個操作員界面，使操作和配方的創建更加容易和可靠。資產還具有先進的成像模型。這樣就可以精確地確定蝕刻配置文件,並隨後分析過程中的數據。這種先進的成像設備可確保以受控的方式去除抗蝕劑,從而能夠精確控制隨後的設備制造過程。TOKYO ELECTRON ACT 8提供了進行可靠光敏處理所需的所有功能。這包括自動晶圓處理交付、曝光劑量控制、圖樣制作、蝕刻和成像。這樣可以確保實現有效的過程控制,並確保過程的一致性,從而提高設備產量。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是光刻過程的完整溶液系統。這個先進的單元具有現代化的技術和可靠的操作，以確保一個一致和高效的過程。這臺機器一定會給設備制造商和用戶帶來巨大的好處。