二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9220020 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種用於微電子製造的光敏設備。它是一個全自動系統，由於其獲得專利的光學自動化Lithography™（OAL™）技術，為精密光刻提供了最高水平的準確性和可重復性。TEL ACT 8單元的設計目的是在不到90分鐘的時間內自動準確地校準焦點、晶片對準、模式對準、叠加和旋轉多達8個晶片,以滿足現代、大批量生產的需求。它能夠處理高達8英寸的晶片，分辨率為0.1微米。該機配備了一套高度集成、精密的制造功能。超高速雙激光掃描曝光（LDSE）模塊以高精度和穩定性執行照片曝光。具有兩軸旋轉和圖像識別技術的五軸對準工具提供了晶圓關鍵特征的精確對準。該資產還配備了防止透鏡表面與晶片接觸的專利透鏡保護模型，以確保透鏡使用壽命更長。具有掃描機構的晶圓傳輸模塊還可以方便地傳輸暴露的晶圓。此外，還采用了緊湊高效的無塵集裝箱設備，以確保清潔的工作環境。TOKYO ELECTRON ACT 8系統還能支持不同類型的光刻膠，包括用於超高分辨率和高產率應用的ArF光刻膠、用於較低分辨率的I-line和KrF光刻膠等應用。它還允許廣泛的蝕刻化學，以滿足各種微電子制造需要。ACT8光敏裝置是生產高分辨率、高產率微電子元件的先進可靠機器。它具有幾個先進的特點，如工藝參數的自動校準和高度集成的制造功能。它經過驗證的準確性和可重復性使其與其他光刻系統脫穎而出,使其成為生產大量關鍵組件的理想解決方案。