二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9229569 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL Corporation生產的光致抗蝕劑設備，是半導體行業中需要精確深紫外線曝光能力的企業使用的更先進的光致抗蝕劑工具之一。TEL ACT 8系統的設計提供了非常穩定、均勻、可控的矽片、光刻測試面罩、抵抗材料等需要深紫外線曝光的材料。該裝置設計有一個由高輸出汞蒸氣燈組成的曝光室，並采用反射曝光方法確保最佳曝光結果。TOKYO ELECTRON ACT 8機器包括一個自動化控制器工具，其設計提供精確的聚焦和對準，監控曝光過程，並在曝光過程中即時提供反饋和修正。這一曝光控制資產還配備了光學和紫外線強度傳感器，能夠識別最佳曝光時間、焦點和曝光結果。該模型可以配置光學快門機構，使具有平滑甚至過渡的多層抗蝕劑在曝光前可以曝光或與多層抗蝕劑層結合。這使用戶能夠在光學對準的情況下實現更復雜的圖樣，並以大大減少的不均勻度和形狀變化實現更精確的傳輸圖樣。ACT 8設備還包括一個基板預烘烤特征，確保基板在暴露於深紫外線之前是預烘烤的。這使用戶能夠確保接觸到的材料在接觸到之前將得到適當的粘合和充分的準備。預烤特性還有助於減少接觸材料的固化時間，確保接觸過程更快、更可靠。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 8系統是業界較先進的光刻膠系統之一。其設計具有先進的特點和卓越的精確度，以確保卓越的深紫外線曝光能力。曝光控制單元、預烘烤功能和快門機構使機器成為需要可重復可靠光刻處理能力的公司的可靠且高度可定制的解決方案。