二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235975 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光致抗蝕劑設備是半導體加工的重要工具。用於在半導體晶片表面蝕刻圖樣，形成構成電子電路和元件的電子路徑、結構和器件。TEL ACT 8光刻膠系統使用光刻膠，一種應用於晶片表面的光敏材料。當受到光線照射時，光致抗蝕劑改變其化學成分，成為投射到晶片表面的圖樣的負像。TOKYO ELECTRON ACT 8單元允許用戶控制所應用光刻膠的圖樣定義、形狀和尺寸。光的曝光時間和強度可以設定為與光抗蝕劑的特定化學成分相匹配，使開發者能夠精確控制線寬、分辨率甚至深度等特征。ACT 8機器還具有若幹安全功能，可以防止光刻膠的不正確暴露。使用一種算法來控制曝光持續時間，從而避免不正確的曝光，同時確保正確的結果。該工具還配備了一個安全快門，在維護期間或更換抗蝕劑時阻擋光線，進一步確保操作員不會損壞晶片。在TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光刻資產中發現的特性組合使得它成為光刻發展的理想工具。控制特性和安全措施的能力有助於確保結果可靠和一致。再者，第8代模型增加了靈活性和高水平的自動化，允許更快、更高效的光刻工藝。
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