二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9241944 待售
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ID: 9241944
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Dual block
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是TEL（TOKYO ELECTRON）為半導體生產過程中的光刻設計的光刻設備。TEL ACT 8系統使集成電路（ICs）能夠以更高的精度和小型化來生產。該單元基於照明光刻和浸入式光刻的核心技術。TOKYO ELECTRON ACT 8機增強的照明技術降低了衍射和失真的影響，使復雜的IC能以更高的精度進行最佳的圖樣化。其浸入式光刻功能可實現極小的音高。這是通過利用低數值孔徑（NA）投影透鏡和輻射源來實現的。這允許在半導體晶片上進行精確的圖樣和高分辨率打印。該工具還配備了先進的抗反射技術，減少了可能汙染晶圓和最終產品的不需要的光反射。TOKYO ELECTRON ACT 8資產還具有內置的暗色基板（DS）檢驗模型,該模型在光刻工藝之前或過程中檢查晶圓上的任何缺陷。這為用戶提供了晶圓狀態的精確實時信息，大大提高了最終產品的可靠性。該設備還配有標記對準系統（MAS），用於在晶圓上精確放置芯片。此外，單元中包含的模式校正軟件確保每個芯片在生產過程中放置在正確的位置。ACT 8機器的CCD相機能夠監控整個光刻印刷過程。這有助於在過程進行期間監視模式中的任何意外更改,從而允許在晶圓損壞之前進行更正。該工具還具有位置檢測安全（PDS）資產,可幫助防止未經授權的人員訪問模型。TEL ACT 8光刻設備是目前用於IC生產的最先進的光刻系統之一。它在照明和浸入式光刻技術之間提供了極好的平衡，能夠以最精確的精度生產高度復雜的集成電路。DS檢驗和MAS還有助於確保芯片放置和晶片質量在整個制造過程中得到維護。
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